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龙图腾网获悉楚赟精工科技(上海)有限公司申请的专利一种测温方法及测温系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121677974B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610171667.0，技术领域涉及：G01K11/125；该发明授权一种测温方法及测温系统是由马法君;马传傲;徐春阳;邢志刚设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测温方法及测温系统在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造技术领域，提供一种测温方法及测温系统，方法包括：提供半导体设备、厚度测量装置、折射率测量装置，以及厚度与温度的理论对应关系；将待测试件置于基座上，控制加热装置加热基座，控制厚度测量装置和折射率测量装置分别向待测试件出射第一光束和第二光束；根据第二光束经待测试件的反射光信息获得待测试件的实时折射率，根据第一光束经待测试件的干涉光信息和实时折射率，计算得到待测试件的实时修正厚度；根据实时修正厚度以及厚度与温度的理论对应关系计算得到待测试件的实时温度。本方法无需进行红外测温即可实现对待待测试件的直接温度测量，从根本上避免了传统非接触式测温中基座结构等因素对测温准确性造成的不利影响。

本发明授权一种测温方法及测温系统在权利要求书中公布了：1.一种测温方法，其特征在于，包括以下步骤： S1：提供半导体设备、厚度测量装置、折射率测量装置，以及厚度与温度的理论对应关系，所述半导体设备包括反应腔体以及位于所述反应腔体内的基座和加热装置，所述反应腔体的顶部设置有用于向所述反应腔体内通入工艺气体的气体通路，所述基座包括凹穴，所述凹穴内侧壁沿周向设有用于承载待测试件边部的承载台，使得所述待测试件底面与所述凹穴内底面之间具有间距； S2：将光学透明的待测试件置于所述基座上，控制所述加热装置加热所述基座，控制所述厚度测量装置和所述折射率测量装置分别向所述待测试件的受光面出射带宽不超过0.1纳米的第一光束，以及与所述第一光束带宽比不低于100:1，且与所述第一光束中心波长一致的第二光束，其中，所述第一光束和所述第二光束通过所述气体通路出射至所述待测试件，所述第一光束为激光，所述第二光束为蓝光LED发出的光束，所述第一光束和所述第二光束的中心波长范围为405纳米±5纳米，所述第二光束的带宽不低于10纳米； S3：根据所述第二光束经所述待测试件的反射光信息获得所述待测试件的实时折射率n，根据所述第一光束经所述待测试件的干涉光信息和所述实时折射率n，计算得到所述待测试件的实时修正厚度dc； S4：根据所述实时修正厚度dc以及所述厚度与温度的理论对应关系，计算得到所述待测试件的实时温度T。

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