环诚智能装备(成都)有限公司刘瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉环诚智能装备(成都)有限公司申请的专利一种晶圆键合用施压机构及晶圆键合设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121666134B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610172054.9，技术领域涉及：H10W72/00；该发明授权一种晶圆键合用施压机构及晶圆键合设备是由刘瑞;解家剑;林镇樟;刘林设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合用施压机构及晶圆键合设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆键合用施压机构，包括驱动组件和施压组件；驱动组件用于提供驱动力；施压组件包括可绕一固定支点摆动的旋转支架，以及由旋转支架驱动的摆臂；摆臂的末端设置有施压部；其中，驱动组件的输出端作用于旋转支架，将驱动力转换为旋转支架绕固定支点的摆动，进而驱动施压部沿一弧形轨迹运动，以执行对晶圆的施压操作。本发明通过创造性地将施压部的运动方式从直线运动改为摆动，基于杠杆原理，可以利用较小行程的摆臂提供所需的键合行程与压力，同时允许将驱动组件及旋转支架等部件布置在施压轴线的侧向，而非晶圆的正上方。这种设计有效的减小了施压机构在竖向上的体积，减少竖向空间的占用。
本发明授权一种晶圆键合用施压机构及晶圆键合设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合用施压机构，其特征在于，包括： 驱动组件，用于提供驱动力； 施压组件，包括可绕一固定支点摆动的旋转支架，以及由所述旋转支架驱动的摆臂；所述摆臂的末端设置有用于接触晶圆的施压部； 其中，所述驱动组件的输出端作用于所述旋转支架，将所述驱动力转换为所述旋转支架绕所述固定支点的摆动，进而驱动所述摆臂末端的所述施压部沿一弧形轨迹运动，以执行对所述晶圆的施压操作； 所述驱动组件包括： 驱动部，用于输出沿竖向的往复运动； 顶板，连接于所述驱动部的动力输出端，以受驱动沿竖向往复运动；所述旋转支架上设有与所述顶板接触的接触件；所述顶板被构造成在沿竖向向上运动时顶推所述接触件，以驱动所述旋转支架摆动，进而驱使所述施压部完成对所述晶圆的接近、施压； 弹性件，连接于所述驱动部的动力输出端与所述旋转支架之间；所述弹性件被构造成在所述顶板沿竖向向下运动时，驱动所述旋转支架反向摆动，进而驱使所述施压部离开所述晶圆。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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