中国工程物理研究院应用电子学研究所周文超获国家专利权
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龙图腾网获悉中国工程物理研究院应用电子学研究所申请的专利一种基于超表面的元件面形动态测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121430499B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202512015177.X，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权一种基于超表面的元件面形动态测量系统是由周文超;刘斯靓;邓婷;李光祥;彭琛;常艳设计研发完成，并于2025-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于超表面的元件面形动态测量系统在说明书摘要公布了：本发明涉及光学元件面形动态测量方案设计技术领域，具体涉及一种基于超表面的元件面形动态测量系统。方案包括通过激光器出射线偏振光分束为参考光与测试光，测试光经两次穿过四分之一波片实现偏振正交化，与参考光合束形成椭圆偏振光；利用探测器同步捕获左旋右旋圆偏光及正交线偏光分量强度，结合斯托克斯参量实时解算相位差δ；基于共光路设计消除环境干扰，省去偏振分光元件简化架构；通过扣除系统固有面形误差实现被测件面形的精准动态测量。本发明提供的系统具备抗干扰性强、测量效率高、成本显著降低等优势，适用于精密光学制造与在线检测场景。
本发明授权一种基于超表面的元件面形动态测量系统在权利要求书中公布了：1.一种基于超表面的元件面形动态测量系统，其特征在于，包括光源、偏振调制单元、参考光路径、测试光路径、合束单元和探测器；其中所述参考光路径和测试光路径为共光路结构，所述探测器配置为检测合束后的偏振分量以获取相位差，从而计算光学元件的面形信息； 其中所述偏振调制单元包括至少一个四分之一波片； 其中所述四分之一波片设置在测试光路径中，用于使测试光偏振方向旋转90度； 其中所述参考光路径通过反射镜反射标准镜的光形成，且所述测试光路径包括被测件，测试光经过被测件后与参考光合束形成椭圆偏振光； 其中所述偏振方向旋转90度是通过测试光两次经过四分之一波片实现的； 光源出射光束为线偏振光，穿过反射镜后一部分作为参考光被标准镜反射，反射光经过反射镜反射后入射至探测器，另一部分作为测试光先后穿过标准镜、四分之一波片，经被测件反射后再次经过四分之一波片，两次经过四分之一波片使得原线偏光的偏正方向被旋转90°，与原偏振方向正交，该路测试光继续经标准镜、反射镜后与参考光合束。
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