海创智能装备(烟台)有限公司李超获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种真空腔室自动门装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224173966U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520932719.2，技术领域涉及：E06B5/00；该实用新型一种真空腔室自动门装置是由李超;张富文;祝晓鹏设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空腔室自动门装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空腔室自动门装置，属于自动门技术领域，包括真空腔室外壳，所述真空腔室外壳的一侧开设有连通内部腔室的通口，真空腔室外壳的一侧设有自动门，自动门置于通口位置处，自动门的大小大于通口的大小，真空腔室外壳上设有驱动装置，所述驱动装置连接自动门，用于驱动自动门封闭通口。本实用新型具有通过全自动的伸缩形式实现对自动门的开启或闭合，杜绝人工对自动门的干预，提高晶圆的洁净度，进而降低晶圆被污染风险的作用。
本实用新型一种真空腔室自动门装置在权利要求书中公布了：1.一种真空腔室自动门装置，其特征在于：包括真空腔室外壳1，所述真空腔室外壳1的一侧开设有连通内部腔室的通口11，所述真空腔室外壳1的一侧设有自动门2，所述自动门2置于通口11位置处，所述自动门2的大小大于通口11的大小，所述真空腔室外壳1上设有驱动装置3，所述驱动装置3连接自动门2，用于驱动自动门2封闭通口11。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人海创智能装备(烟台)有限公司，其通讯地址为：264000 山东省烟台市中国(山东)自由贸易试验区烟台片区宁波路17号海创大厦10层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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