苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司杨世武获国家专利权
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龙图腾网获悉苏科斯(江苏)半导体设备科技有限公司申请的专利一种动态电连接机构、电镀装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121688480B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610190747.0,技术领域涉及:H01R25/14;该发明授权一种动态电连接机构、电镀装置及方法是由杨世武;眭朝萍;田帅设计研发完成,并于2026-02-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种动态电连接机构、电镀装置及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种动态电连接机构、电镀装置及方法,所述动态电连接机构包括固定基座组件、由凸轮驱动组件带动作往复直线运动的运动滑架组件,以及由导电滑片构成的动态导电路径,该导电滑片在运动全程中与固定基座组件上的静态供电端子保持滑动接触,从而在运动部件与电源间建立持续、稳定的电连接,所述运动滑架组件的相对两侧分别设有所述导电滑片,形成并联的冗余电流路径,极大提高了连接的可靠性与容错能力,将上述机构应用于电镀装置,驱动作为阴极的载料挂具往复运动并同步供电,结合对称喷淋,能有效排除工件孔内气泡、确保电流分布均匀,显著提升半导体TGV深孔电镀的镀层均匀性与质量。
本发明授权一种动态电连接机构、电镀装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种动态电连接机构,包括: 固定基座组件,其特征在于,还包括: 运动滑架组件54,可往复直线移动地安装于所述固定基座组件上; 凸轮驱动组件,安装于所述固定基座组件上,其动力输出端与所述运动滑架组件54传动连接,用于驱动所述运动滑架组件54进行往复直线运动; 集成式电连接接口,设置于所述运动滑架组件54上,用于可拆卸安装载料挂具51的卡装结构或插接结构; 静态供电端子,固定安装于所述固定基座组件上,用于连接外部电源; 其中,所述运动滑架组件54上设置有动态导电路径,该动态导电路径的一端与所述集成式电连接接口电性连接,另一端在所述运动滑架组件54的整个往复运动行程中,始终与所述静态供电端子保持滑动接触,以在运动过程中建立从外部电源到外部负载的持续性电连接; 所述固定基座组件包括至少两个平行设置的滑移座53,每个滑移座53上设有滑移导向部58;所述运动滑架组件54的两端分别与所述滑移导向部58滑动配合;所述凸轮驱动组件包括驱动电机55、由驱动电机55驱动的凸轮56、以及设于运动滑架组件54上的从动连接件57,所述凸轮56与所述从动连接件57相配合,用于将旋转运动转换为直线往复运动; 所述动态导电路径包括固定安装于所述运动滑架组件54上的导电滑片59,所述运动滑架组件54的相对两侧分别固定设有导电滑片59;各所述导电滑片59均与所述集成式电连接接口电性连接,并与对应的所述静态供电端子滑动接触; 所述导电滑片59上开设有电连接槽60,所述静态供电端子的部分结构容置于该电连接槽内。
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