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龙图腾网获悉华芯程(杭州)科技有限公司申请的专利地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121411064B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511973670.6，技术领域涉及：G03F1/36；该发明授权地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2025-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备，其中，该地形感知光学邻近效应修正方法包括获取原始设计版图；使用当前TOPC模型对原始设计版图进行地形感知光学邻近效应修正，生成初始修正版图；对基于初始修正版图制造的晶圆进行原位量测，得到实际图形数据；将实际图形数据与基于初始修正版图生成的仿真图形数据进行比对，生成模型偏差数据；利用参数校正模型对模型偏差数据进行分析，生成参数校正量；基于参数校正量对当前TOPC模型进行更新。本申请可以提高地形感知光学邻近效应修正的精度。

本发明授权地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备在权利要求书中公布了：1.一种地形感知光学邻近效应修正方法，其特征在于，包括： S101、获取原始设计版图； S102、使用当前TOPC模型对所述原始设计版图进行地形感知光学邻近效应修正，生成初始修正版图；其中，所述当前TOPC模型包括CMP模块和OPC模块； S103、对基于所述初始修正版图制造的晶圆进行原位量测，得到实际图形数据； S104、将所述实际图形数据与基于所述初始修正版图生成的仿真图形数据进行比对，生成模型偏差数据； S105、利用参数校正模型对所述模型偏差数据进行分析，生成参数校正量；所述分析包括：将所述模型偏差数据与版图特征、形貌特征进行关联，推断导致偏差的根本原因，并基于推断结果分别生成针对所述CMP模块的参数校正量和或针对所述OPC模块的参数校正量； S106、基于所述参数校正量对所述当前TOPC模型进行在线更新，包括：对所述当前TOPC模型中的CMP模块和或OPC模块进行在线增量更新，并将更新后的TOPC模型作为新的当前TOPC模型； 重复执行上述步骤S101-S106，使所述当前TOPC模型在生产过程中基于后续批次的原位量测数据持续迭代更新，用于对后续批次的原始设计版图进行地形感知光学邻近效应修正，从而形成从修正、制造、量测、学习到再修正的闭环自适应修正流程。

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