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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121123103B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511324255.8，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备是由张朋兵;顾橙蕾;唐乐设计研发完成，并于2025-09-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备，所述适配凸型面的末端执行器，包括延伸件、吸附件以及若干密封件，吸附件包括吸附主体、辅热组件和若干吸附组件，所述吸附组件的材料为受热膨胀、降温收缩的记忆合金，所述辅热组件温度升高时，所述吸附组件膨胀，所述辅热组件温度下降时，所述吸附组件收缩，通过控制所述辅热组件的温度就能实现对所述吸附组件状态的控制，从而使若干所述吸附组件的长度不同，从而适应晶圆在高温环境中发生形变后的下表面，进而避免晶圆脱落，且密封件的材料为熔点大于或等于150℃的柔性材料，能够增加吸附组件与晶圆的之间的密封性，避免吸附组件受到温度发生形变时与晶圆之间出现缝隙。

本发明授权适配凸型面的末端执行器、机械手及传送设备在权利要求书中公布了：1.一种适配凸型面的末端执行器，其特征在于，包括： 延伸件，内部沿延伸方向开设有真空通道，所述延伸件一端的上侧开设有连通所述真空通道的对接口； 吸附件，包括吸附主体、辅热组件和若干吸附组件，所述吸附主体呈圆盘状，所述吸附主体的一圆面上开设有第一连接口，所述吸附件与所述延伸件连接，所述第一连接口与所述对接口对接连通，所述吸附主体的另一圆面上开设有若干第二连接口，若干所述第二连接口均与所述第一连接口连通，所述吸附组件的数量与所述第二连接口的数量相同，所述吸附组件包括连通的第一开口和第二开口，所述吸附组件部分嵌于所述第二连接口内，且所述吸附组件与所述第二连接口无缝连接，所述第一开口与所述第二连接口连通，所述第二开口朝上，所述辅热组件与所有所述吸附组件连接，用于对不同所述吸附组件进行相同或不同温度的加热；以及， 若干密封件，与所述吸附组件的数量相同，所述密封件设置于所述第二开口上； 所述适配凸型面的末端执行器还包括若干辅助收缩件，所述辅助收缩件的数量与所述吸附组件的数量相同，所述辅助收缩件设置于所述吸附主体的另一面上，且与对应吸附组件连接，用于在环境降温时，辅助所述吸附组件收缩； 所述辅助收缩件包括至少一个弹簧，所述弹簧的一端与所述吸附主体的另一面连接，所述弹簧的另一端连接于与所述吸附组件靠近所述第二开口处的位置，当环境温度为室温时，所述弹簧处于自然状态； 其中，所述吸附组件的材料为受热膨胀、降温收缩的记忆合金，所述辅热组件温度升高时，所述吸附组件膨胀，使所述第二开口远离所述延伸件，所述辅热组件温度下降时，所述吸附组件收缩，使所述第二开口靠近所述延伸件，所述密封件的材料为熔点大于或等于150℃的柔性材料。

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