佛山西陇化工有限公司伍红星获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山西陇化工有限公司申请的专利水系剥离液及其制备方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120779685B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511015080.2，技术领域涉及：G03F7/42；该发明授权水系剥离液及其制备方法和应用是由伍红星;张念椿;阳后桂;廖启文;吴航;谭振宗;冯巧钰设计研发完成，并于2025-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本水系剥离液及其制备方法和应用在说明书摘要公布了：本发明提供了一种水系剥离液及其制备方法和应用，具体涉及光刻技术领域。该水系剥离液包括极性溶剂、渗透剂、表面活性剂、腐蚀抑制剂、增溶剂和纯水。该水系剥离液中，极性溶剂能够渗透到光刻胶内部，破坏其分子间作用力，使光刻胶结构松散；渗透剂加速溶剂向光刻胶内部的扩散，增强剥离效果；表面活性剂则降低剥离液与光刻胶之间的表面张力，使剥离液能够更好地与光刻胶接触并分散光刻胶颗粒；腐蚀抑制剂保护基材免受腐蚀，确保剥离过程中基材的完整性；增溶剂则改善剥离液中各成分的相容性，使体系更加稳定。这些成分共同作用，使剥离液能够在温和的条件下快速溶解光刻胶，并将其从基材表面彻底去除，同时减少残留和对基材的损伤。
本发明授权水系剥离液及其制备方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种水系剥离液，其特征在于，包括极性溶剂45~55wt%、渗透剂0.5~1wt%、表面活性剂1~5wt%、腐蚀抑制剂0.5~1wt%、增溶剂1~3wt%，余量为纯水； 所述极性溶剂包括碳酸乙烯酯、四甘醇和N，N-二甲基乳酰胺中的至少一种； 所述渗透剂包括柠檬酸三乙酯、三醋酸甘油酯和丙二醇甲醚中的至少一种； 所述表面活性剂包括聚乙二醇壬基苯基醚、聚乙二醇辛基苯基醚、辛基酚聚氧乙烯醚、癸基酚聚氧乙烯醚和蔗糖脂肪酸酯中的至少一种； 所述腐蚀抑制剂包括二环己胺、二月桂基磷酸酯和单宁酸中的至少一种； 所述增溶剂包括羟丙基壳聚糖、聚氧乙烯蓖麻油、马来酸酐接枝聚乙二醇。
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