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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利基于中心对称光栅调制的间隙测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119984072B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510233032.4，技术领域涉及：G01B11/14；该发明授权基于中心对称光栅调制的间隙测量方法是由夏豪杰;许非凡;方青林;朱梓旭;贺洁设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于中心对称光栅调制的间隙测量方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基于中心对称光栅调制的间隙测量方法。包括在待测间隙的两表面上构造周期互补的第一光栅以及第二光栅形成中心对称光栅组件；将光源调整至与第一光栅的法线方向对准，使光源垂直入射到中心对称光栅组件，获取衍射光干涉形成的莫尔条纹图；将莫尔条纹图沿着对角线分为四个区域，每个区域内具有错位的相位区域，对于其中至少一个区域，计算相互错位的相位差，根据相位差计算间隙变化量。该方法通过利用在中心对称光栅组件所形成的衍射条纹中同一区域内不同构成的光栅所形成的衍射条纹的相位差实现对两平行光栅之间的间隙估计，能够在复杂光刻环境下实现掩膜与晶圆间隙的高精度测量，具有高精度、强抗干扰能力的特点。

本发明授权基于中心对称光栅调制的间隙测量方法在权利要求书中公布了：1.一种基于中心对称光栅调制的间隙测量方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、在待测间隙的两表面上构造周期互补的第一光栅11以及第二光栅12形成中心对称光栅组件1； S2、将光源的光轴调整至与第一光栅11的法线方向重合，使光源垂直入射到中心对称光栅组件1，第一光栅11和第二光栅12的奇数级衍射光干涉形成莫尔条纹图； S3、将莫尔条纹图沿着对角线分为四个区域，每个区域内具有错位的相位区域，对于其中至少一个区域，通过二维快速傅里叶变换提取条纹图相位，使用加权最小二乘法展开条纹相位获取连续相位，计算相互错位的相位差，根据相位差计算间隙变化量： 其中，，，为光源的波长；在根据相位差计算间隙变化量的步骤中，选择莫尔条纹图中的四个区域分别计算各自的间隙变化量，取其均值作为结果的间隙值；第一光栅11与第二光栅12均绕光栅中心0依次周向分布的第一、二、三、四四个象限，每个象限内形成L形光栅13，L形光栅13具有各自平行于两正交轴的第一栅段111以及第二栅段112，其中第一栅段111以及第二栅段112于一端连接形成一折角113，在L形光栅中，折角113沿该象限中的一直线D向外延伸，直线D为该象限的角平分线，L形光栅13的光栅周期在不同的象限中以第一周期、第二周期交替重复，；在不同的象限内，第一光栅11的光栅周期与第二光栅12的光栅周期互补。

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