江苏芯梦半导体设备有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏芯梦半导体设备有限公司申请的专利晶圆夹具及花篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165107U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520847514.4,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型晶圆夹具及花篮是由请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆夹具及花篮在说明书摘要公布了:本实用新型的实施例提供了一种晶圆夹具及花篮,涉及半导体技术领域。本实用新型提供的一种晶圆夹具包括支撑架与夹持件,多个夹持件间隔设置于支撑件边缘,多个夹持件用于共同抵持晶圆边缘,多个夹持件与支撑架共同形成两个分别位于支撑架两侧的容纳空间,且支撑架用于分隔两个容纳空间内容置的晶圆。本实用新型提供的一种花篮包括花篮本体和如前述的晶圆夹具,晶圆夹具能够沿第一方向插入至花篮本体。本实用新型能够避免花篮中相邻晶圆贴合而影响晶圆的加工效果。
本实用新型晶圆夹具及花篮在权利要求书中公布了:1.一种晶圆夹具,其特征在于,沿第一方向活动设置于花篮100内,所述晶圆夹具200包括: 支撑架210; 夹持件220,设置有多个,多个所述夹持件220间隔设置于所述支撑架210边缘,多个所述夹持件220用于共同抵持晶圆边缘,多个所述夹持件220与支撑架210共同形成两个分别位于所述支撑架210两侧的容纳空间,且所述支撑架210用于分隔两个所述容纳空间内容置的晶圆。
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