中科芯微智能装备(沈阳)有限公司常志勇获国家专利权
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龙图腾网获悉中科芯微智能装备(沈阳)有限公司申请的专利前开式晶圆传送盒机械接口系统供气路径跨介质隔离装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165077U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521101248.7,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型前开式晶圆传送盒机械接口系统供气路径跨介质隔离装置是由常志勇;谭谆;孟君燕;侯双明设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本前开式晶圆传送盒机械接口系统供气路径跨介质隔离装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种前开式晶圆传送盒机械接口系统供气路径跨介质隔离装置,包括:安装基板,具有靠近氮气环境一侧的第一侧面和靠近大气环境一侧的第二侧面,设有开口;至少一个操作台,设于第二侧面上;至少一路第一气路,设于第一侧面上并延伸至开口处;隔离机构,包括密封地设于第二侧面上的隔离盒和设于隔离盒上的若干个气动接头,气动接头的一端位于开口处并与第一气路连接且另一端位于大气环境侧并与第二气路连接。本实用新型通过在开口处密封地设置隔离机构,起到密封作用,利用气动接头连接第一气路和第二气路,实现大气环境与氮气环境间的气路连接,无需打胶处理,并解决了大气环境与氮气环境分隔处的管路与安装基板间密封性差的问题。
本实用新型前开式晶圆传送盒机械接口系统供气路径跨介质隔离装置在权利要求书中公布了:1.一种前开式晶圆传送盒机械接口系统供气路径跨介质隔离装置,其特征在于,包括: 安装基板,具有靠近氮气环境一侧的第一侧面和靠近大气环境一侧的第二侧面,所述安装基板设有开口; 至少一个操作台,设于所述第二侧面上且用于放置晶圆盒; 至少一路第一气路,设于所述第一侧面上并延伸至所述开口处; 隔离机构,包括通过第一密封件密封地设于所述第二侧面上的隔离盒和设于所述隔离盒上的若干个气动接头,所述隔离盒罩住所述开口,所述气动接头的一端位于所述开口处并与所述第一气路连接且另一端位于大气环境侧并与第二气路连接。
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