浙江创芯集成电路有限公司孙永康获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江创芯集成电路有限公司申请的专利晶圆研磨设备及晶圆研磨方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119609936B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411657964.3，技术领域涉及：B24B49/12；该发明授权晶圆研磨设备及晶圆研磨方法是由孙永康;夏汇哲;臧志城;王斌超;张俊铠设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆研磨设备及晶圆研磨方法在说明书摘要公布了：本申请实施例提供一种晶圆研磨设备及晶圆研磨方法，包括：研磨垫，设置于预定工作位置；研磨垫修整器，位于所述预定工作位置的顶面，所述研磨垫与预定工作位置所在的预定工作平面平行，用于在研磨待研磨晶圆的过程中修整研磨垫；成像传感器，设置于所述研磨垫修整器靠近所述预定工作位置的一侧，所述成像传感器的探头指向所述预定工作平面，用于在所述研磨垫修整器修整研磨垫的过程中获取研磨垫表面图；图像分析装置，连接所述成像传感器，用于根据所述研磨垫表面图检测所述研磨垫表面状态。可以在修整研磨垫时实时获取所述研磨垫表面图，避免研磨垫表面清洁度较低或不平整而划伤晶圆。
本发明授权晶圆研磨设备及晶圆研磨方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆研磨设备，其特征在于，包括： 研磨垫，设置于预定工作位置； 研磨垫修整器，位于所述预定工作位置的顶面，所述研磨垫与预定工作位置所在的预定工作平面平行，用于在研磨待研磨晶圆的过程中修整研磨垫； 成像传感器，设置于所述研磨垫修整器的表面，且靠近所述预定工作位置的一侧，所述成像传感器的探头指向所述预定工作平面，用于在所述研磨垫修整器修整研磨垫的过程中实时获取研磨垫表面图；其中，所述研磨垫修整器向远离所述预定工作位置的方向凹陷，所述成像传感器设置于所述凹陷处； 图像分析装置，连接所述成像传感器，用于根据所述研磨垫表面图检测所述研磨垫经修整的表面状态。
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