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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117759866B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311787446.9，技术领域涉及：F17C9/00；该发明授权基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统是由纪雪峰;范威威;宋泳良设计研发完成，并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统，特殊气体输送设备包括载气供应单元、混气输出单元、检测单元、吹扫单元、排放单元、第一泄压单元和第二泄压单元。其优点在于，通过设置排放单元，可对混合气体和吹扫气体进行分区排放，可以减少后端尾气处理的压力，还能保护环境，防止尾气泄露的危害；还通过设置第一泄压单元和第二泄压单元，可对载气的进气口和混合气体的出口进行泄压，提高设备和系统的安全性，保护人员生命和财产安全，确保生产工艺的稳定性；再有，通过设置检测单元，可预先做到对下瓶气进行测试，可以在正式使用前就知道未使用钢瓶是否达到工艺条件，可节省时间成本，提高效率。

本发明授权基于液态气源的特殊气体输送设备、方法及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种液态气源的特殊气体输送设备，其特征在于，包括： 载气供应单元，所述载气供应单元分别与载气源、液态源存储设备连通，用于向液态源存储设备供应载气，以在液态源存储设备的内部使载气与液态源气体混合形成混合气体； 混气输出单元，所述混气输出单元分别与液态源存储设备、工艺机台连通，用于向工艺机台输出混合气体； 检测单元，所述检测单元与所述混气输出单元连通，用于在载气未被供应至液态源存储设备的情况下，检测所述混气输出单元输出的液态源气体； 吹扫单元，所述吹扫单元分别与所述载气供应单元、所述混气输出单元连通，用于使用吹扫气体分别对所述载气供应单元、所述混气输出单元吹扫； 排放单元，所述排放单元分别与所述载气供应单元、所述混气输出单元连通，用于排放所述载气供应单元、所述混气输出单元的气体； 第一泄压单元，所述第一泄压单元分别与所述载气供应单元、所述排放单元连通，用于对所述载气供应单元泄压； 第二泄压单元，所述第二泄压单元分别与所述混气输出单元、所述排放单元连通，用于对所述混气输出单元泄压； 反向鼓泡单元，所述反向鼓泡单元与液态源存储设备连通，用于使液态源存储设备残存的液态源气体被输送至工艺机台或尾气处理设备； 其中，所述反向鼓泡单元包括： 推动气体供应元件，所述推动气体供应元件与所述混气输出单元连通，用于提供推动气体并将所述液态源存储设备残留的液态气源输送至工艺机台或者通过所述排放单元进行尾气处理设备； 第十阀元件，所述第十阀元件设置于所述推动气体供应元件与所述混气输出单元连通的管路，用于控制该管路的流通； 第六压力监测元件，所述第六压力监测元件设置于所述推动气体供应元件与所述混气输出单元连通的管路，用于监测该管路内的压力。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人上海良薇机电工程有限公司，其通讯地址为：201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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