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龙图腾网获悉沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请的专利一种晶圆自动对中系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117116829B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210537770.4，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权一种晶圆自动对中系统及方法是由张朋;张建设计研发完成，并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆自动对中系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆精度校准领域，具体说是一种晶圆自动对中系统及方法，包括：机器人运动系统、相机传感器、相机控制器以及上位机；机器人运动系统上安装有晶圆，且与上位机连接；所述机器人运动系统上设有相机传感器，所述相机传感器设于晶圆的正下方，相机传感器的视场方向朝向晶圆底部，且相机传感器随晶圆的X轴方向移动；相机传感器与相机控制器连接；相机控制器与上位机连接；上位机，用于控制机器人运动系统，获取机器人运动系统的示教位置坐标值；同时，接收相机控制器发送的晶圆位置偏差值，并进行处理，得到放片位置坐标，并将放片位置坐标发送至机器人运动系统，对机器人运动系统进行运动控制，实现晶圆中心传运位置的校准。

本发明授权一种晶圆自动对中系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆自动对中系统，其特征在于，包括：机器人运动系统、相机传感器、相机控制器以及上位机； 所述机器人运动系统上安装有晶圆，且与上位机连接，用于根据上位机的控制指令运动； 所述机器人运动系统上设有相机传感器，所述相机传感器设于晶圆的正下方，相机传感器的视场方向朝向晶圆底部，且相机传感器随晶圆的X轴方向移动； 所述相机传感器与相机控制器连接，用于将采集到的晶圆图像发送至相机控制器进行处理； 所述相机控制器与上位机连接，用于接收相机传感器发送的晶圆中心实际位置图像与机器人运动系统示教时的基准位置图像，并对两幅图像进行对比处理，获取晶圆位置偏差值，并将获取晶圆位置偏差值发送至上位机； 所述上位机，用于控制机器人运动系统，获取机器人运动系统的示教位置坐标值；同时，接收相机控制器发送的晶圆位置偏差值，并进行处理，得到放片位置坐标，并将放片位置坐标发送至机器人运动系统，对机器人运动系统进行运动控制，实现晶圆中心传运位置的校准。

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