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龙图腾网获悉华为技术有限公司申请的专利声反射器中具有通过质量载荷调谐频率的固态安装体声波谐振器及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116325496B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080105152.1，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权声反射器中具有通过质量载荷调谐频率的固态安装体声波谐振器及其制造方法是由安德烈·亚埃尔布斯设计研发完成，并于2020-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本声反射器中具有通过质量载荷调谐频率的固态安装体声波谐振器及其制造方法在说明书摘要公布了：提供了一种基板102上的体声波bulkacousticwave，BAW谐振器100，包括压电元件104、所述压电元件第一面上104A的底部电极106和所述压电元件的背对着所述第一面的第二面104B上的顶部电极108。所述BAW谐振器还包括所述底部电极和所述衬底之间的反射元件112。所述反射元件至少包括具有第一声阻抗的第一材料的第一层114A和具有第二声阻抗的第二材料的第二层114B，其中，所述第二声阻抗与所述第一声阻抗不同。所述第一层或所述第二层包括具有第三声阻抗的第三材料的一个或多个结构116A、116B、116C，所述第三声阻抗与所述第一声阻抗和所述第二声阻抗不同。所述结构形成嵌入所述第一层和或所述第二层中的声阻抗调制层，可以通过质量载荷对谐振器进行频率调谐。通过在同一裸片上以不同方式对第三结构的谐振器进行图案化可以针对梯形结构滤波器或晶格结构滤波器精确地调谐到不同的频率，而不依靠特定层的厚度控制。通过对称地布置频率调谐结构116A、116B、116C，另外的横向模式可以被抑制。

本发明授权声反射器中具有通过质量载荷调谐频率的固态安装体声波谐振器及其制造方法在权利要求书中公布了：1.一种衬底上的体声波bulkacousticwave，BAW谐振器，其特征在于，包括压电元件、所述压电元件的第一面上的底部电极和所述压电元件的背对着所述第一面的第二面上的顶部电极，所述BAW谐振器还包括在所述底部电极和所述衬底之间的反射元件，所述反射元件至少包括具有第一声阻抗的第一材料的第一层和具有第二声阻抗的第二材料的第二层，所述第二声阻抗与所述第一声阻抗不同，所述第一层或所述第二层包括具有第三声阻抗的第三材料的一个或多个结构，所述第三声阻抗与所述第一声阻抗和所述第二声阻抗不同，所述结构形成嵌入在所述第一层和或所述第二层中的声阻抗调制层； 所述结构不对称分布以形成所述声阻抗调制层。

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