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龙图腾网获悉UNIJET株式会社申请的专利抗蚀剂精细图案形成设备和形成方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115553073B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202180034405.5，技术领域涉及：H05K3/06；该发明授权抗蚀剂精细图案形成设备和形成方法是由金锡淳;李宗均;韩熙骏设计研发完成，并于2021-02-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本抗蚀剂精细图案形成设备和形成方法在说明书摘要公布了：本发明涉及抗蚀剂精细图案形成装置和形成方法，该装置和该方法允许可光固化抗蚀剂墨呈半固化，以便以凝胶状态被喷射在基板上，并且形成抗蚀剂精细图案，以便形成相对于分隔形成墨垂直的边界，使得所形成的抗蚀剂精细图案的边缘部分被形成为接近于垂直，因此形成足够的厚度，从而可以形成有良好的蚀刻或电镀效果的金属图案。为此目的，本发明的抗蚀剂精细图案形成方法使用用于沿路径打印墨的喷墨打印，以便在具有相同表面能的基板上形成抗蚀剂精细图案，该方法包括同时地在路径的前侧和后侧排出可光固化抗蚀剂墨和分隔形成墨以彼此间隔开并将光能施加到所排出的可光固化抗蚀剂墨的喷射步骤，其中，相对于光能，将光的强度设定成，使得由于可光固化抗蚀剂墨为半固化的并且以凝胶状态被喷射在基板上，因此墨形成相对于被喷射在基板上的分隔形成墨垂直的边界，并且防止可光固化抗蚀剂墨扩散，并且在可光固化抗蚀剂墨和分隔形成墨两者被完全地喷射之后，固化可光固化抗蚀剂墨。

本发明授权抗蚀剂精细图案形成设备和形成方法在权利要求书中公布了：1.一种用于形成抗蚀剂精细图案的方法，该方法通过使用沿路径打印墨的喷墨打印方法而在基板上形成抗蚀剂精细图案，所述方法包括如下步骤： 喷射过程，在同时地在所述路径的前侧和后侧处排出可光固化抗蚀剂墨和分隔形成墨以彼此间隔开的同时，将光能施加到所排出的所述可光固化抗蚀剂墨，其中，设定所述光能的光的强度，使得所述可光固化抗蚀剂墨半固化并且以凝胶状态沉积在所述基板上，以相对于沉积在所述基板上的所述分隔形成墨形成垂直的边界，并且同时防止所述可光固化抗蚀剂墨扩散，从而在所有的所述可光固化抗蚀剂墨和所述分隔形成墨完全沉积之后使所述可光固化抗蚀剂墨被完全固化， 通过设定为所述强度的光能，将所述抗蚀剂精细图案的边缘部分形成为垂直形状，从而允许图案厚度的增加，并且减小相邻抗蚀剂精细图案之间的间距。

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