中北大学何常德获国家专利权
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龙图腾网获悉中北大学申请的专利微型电容式压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119290243B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411418441.3，技术领域涉及：G01L9/12；该发明授权微型电容式压力传感器及其制备方法是由何常德;杨玉华;张文栋;薛鹏飞;张金亮;张国军;王红亮;王任鑫;崔建功;贾利成;孙帅文;吴帅琦设计研发完成，并于2024-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本微型电容式压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微型电容式压力传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域，该传感器由上至下依次包括：上电极金属层、单晶硅薄膜层、真空腔体、二氧化硅绝缘层、单晶硅衬底、下电极金属层；其中，真空腔体为单晶硅薄膜层与二氧化硅绝缘层键合在一起形成的凹弧形密闭空腔；该结构极大的提高了微型电容式压力传感器的线性度和灵敏度。
本发明授权微型电容式压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微型电容式压力传感器，其特征在于，由上至下依次包括：上电极金属层、单晶硅薄膜层、具有均匀厚度和形状的真空腔体、二氧化硅绝缘层、单晶硅衬底和下电极金属层； 其中，所述真空腔体为所述单晶硅薄膜层与所述二氧化硅绝缘层键合在一起形成的凹弧形密闭空腔，当微型电容式压力传感器的薄膜在受压力而形变时，薄膜中心与边缘之间各点电容都发生变化，且位移量相等。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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