三安日本科技株式会社熊谷浩一获国家专利权
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龙图腾网获悉三安日本科技株式会社申请的专利弹性表面波装置的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115549626B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111179860.2,技术领域涉及:H03H3/08;该发明授权弹性表面波装置的制造方法是由熊谷浩一;中村博文;门川裕设计研发完成,并于2021-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本弹性表面波装置的制造方法在说明书摘要公布了:一种弹性表面波装置的制造方法,包含:在压电基板上形成数个共振器、外部连接用焊垫,及电连接至少一个所述共振器的第一布线的步骤;设置覆盖所述第一布线的绝缘层的步骤;在所述压电基板上形成比所述绝缘层更高的支持层的步骤;在所述绝缘层的上方区域形成以侧面连接所述支持层的第二布线的步骤;及在所述第二布线形成前或形成后,于所述支持层上形成气密密封所述共振器的覆盖层的步骤。借此,能提供一种具有厚布线的弹性表面波装置的制造方法。
本发明授权弹性表面波装置的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种弹性表面波装置的制造方法,其特征在于: 所述弹性表面波装置的制造方法包含: 形成第一布线的步骤:在压电基板上形成数个共振器、外部连接用焊垫,及电连接至少一个所述共振器的第一布线; 形成绝缘层的步骤:设置覆盖所述第一布线的绝缘层; 形成支持层的步骤:在所述压电基板上形成比所述绝缘层更高的支持层; 形成第二布线的步骤:在所述绝缘层的上方区域形成以侧面连接所述支持层的第二布线; 及 形成覆盖层的步骤:在所述第二布线形成前或形成后,于所述支持层上形成气密密封所述共振器的覆盖层。
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