应用材料公司约瑟夫·M·拉内什获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利旋转基板激光退火获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115527896B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211184698.8，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权旋转基板激光退火是由约瑟夫·M·拉内什;沙善·夏尔马;迪瓦卡尔·N·科德拉雅;阿伦·缪尔·亨特设计研发完成，并于2016-07-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本旋转基板激光退火在说明书摘要公布了：本公开内容的实施方式涉及基板的热处理。更具体而言，在此所描述的实施方式涉及闪光尖峰退火处理及适合执行这种处理的设备。在一个实施方式中，热处理设备可包括灯辐射源、激光源及设置在灯辐射源与激光源之间的反射板。一或更多个孔可形成于反射板中，且激光源可被定位成与反射板相邻，使得从激光源发射的激光光束传播通过一或更多个孔。在一个实施方式中，反射板可为大体圆形的，且一或更多个孔可近似于反射板的扇形区。
本发明授权旋转基板激光退火在权利要求书中公布了：1.一种用于处理基板的设备，所述设备包括： 腔室，所述腔室限定内部容积； 辐射热源，所述辐射热源设置在所述内部容积内； 可旋转基板支座，所述可旋转基板支座相邻于所述辐射热源而设置于所述内部容积内； 激光源，所述激光源相邻于所述基板支座而设置于所述内部容积内，并且被配置为发射激光辐射； 窗口，所述窗口设置在所述内部容积内且在所述辐射热源与所述激光源之间；及 反射板，所述反射板设置在所述内部容积中且设置在所述激光源与所述可旋转基板支座之间，所述反射板具有形成于所述反射板中的一或更多个孔，所述一或更多个孔被配置为补偿通过所述一或更多个孔而暴露于所述基板的所述激光辐射的停滞时间及功率，以产生从所述基板的中心到边缘的均匀退火分布。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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