浜松光子学株式会社嶋瀬朗获国家专利权
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龙图腾网获悉浜松光子学株式会社申请的专利晶圆搬送单元及晶圆搬送方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115023799B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080094175.7，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权晶圆搬送单元及晶圆搬送方法是由嶋瀬朗;石塚利道;活洲政敬设计研发完成，并于2020-11-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆搬送单元及晶圆搬送方法在说明书摘要公布了：本发明的故障解析单元是在半导体故障解析装置中一边保持一边搬送晶圆的晶圆搬送单元，并且具备：载置台，其将晶圆固定于规定的观察位置；及晶圆卡盘，其保持晶圆并搬送至观察位置，晶圆卡盘具有设置为与晶圆的侧面相对的多个保持构件突出部，通过多个保持构件夹持晶圆W的周部而保持晶圆。
本发明授权晶圆搬送单元及晶圆搬送方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬送单元，其中， 是在半导体故障解析装置中一边保持一边搬送晶圆的晶圆搬送单元， 具备： 固定部，其将晶圆固定于规定的观察位置；及 搬送部，其一边保持一边搬送所述晶圆至所述观察位置， 所述搬送部， 具有以与所述晶圆的侧面相对的方式设置的多个保持构件，通过所述多个保持构件夹持所述晶圆的周部而保持所述晶圆， 具有划分容纳所述晶圆的容纳空间的环部，在所述环部设置有朝向所述容纳空间突出且仅与所述晶圆的周部接触而不与所述晶圆的背面及表面接触的所述多个保持构件。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浜松光子学株式会社，其通讯地址为：日本静冈县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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