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龙图腾网获悉东方晶源微电子科技(北京)有限公司申请的专利套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114563926B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210085187.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品是由兰涛明设计研发完成，并于2022-01-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品在说明书摘要公布了：本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种套刻标识的筛选方法，获取多组待筛选套刻标识的参数；基于预设的简化标准对所述待筛选套刻标识进行简化，得到简化后的套刻标识；基于预设的筛选标准筛选所述简化后的套刻标识，得到筛选后的套刻标识。本发明还提供一种掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品。本发明提供的一种套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品解决了套刻标识仿真优化计算量大、运行时间长以及计算资源需求多的技术问题。

本发明授权套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品在权利要求书中公布了：1.一种套刻标识的筛选方法，所述套刻标识的线条方向一致且至少包括两条重复的所述线条，其特征在于：所述筛选方法包含以下步骤： 获取多组待筛选套刻标识的参数； 基于预设的简化标准对所述待筛选套刻标识进行简化，得到简化后的套刻标识； 基于预设的筛选标准筛选所述简化后的套刻标识，得到筛选后的套刻标识； 所述待筛选套刻标识为DBO标识，多个水平方向的DBO标识和或竖直方向的DBO标识构成uDBO标识，在上述获取多组待筛选套刻标识的参数之前还包括以下步骤： 输入所述uDBO标识的参数； 去掉所述uDBO标识中重复的DBO标识得到精简uDBO标识； 提取所述精简uDBO标识中的所述水平方向的DBO标识和或竖直方向的DBO标识，所述水平方向的DBO标识和或竖直方向的DBO标识为所述待筛选套刻标识； 筛选所述简化后所述水平方向的DBO标识和或竖直方向的DBO标识包括以下步骤： 根据所述水平方向的DBO标识和或竖直方向的DBO标识仿真生成多组待筛选标识掩模版； 将多组所述待筛选标识掩模版基于预设的标准和方法进行筛选得到筛选标识掩模版； 根据所述筛选标识掩模版得到所述筛选后的DBO标识。

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