东京毅力科创株式会社辻本宏获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利边缘环及其更换方法、基片支承台和等离子体处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113451096B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110264471.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权边缘环及其更换方法、基片支承台和等离子体处理系统是由辻本宏;桑原有生;李黎夫设计研发完成，并于2021-03-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本边缘环及其更换方法、基片支承台和等离子体处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种边缘环、基片支承台、等离子体处理系统和边缘环的更换方法，其具有：载置基片的基片载置面；载置边缘环的环载置面，其中所述边缘环以包围被载置于所述基片载置面的基片的方式配置；和用于将所述边缘环通过静电力来吸附并保持于所述环载置面的电极，所述边缘环在与所述环载置面相对的面粘贴有传热片，且经由该传热片载置于所述环载置面，所述传热片在与所述环载置面相对的面形成有导电膜，所述边缘环通过借助由所述电极形成的静电力来吸附被粘贴于该边缘环的所述传热片的所述导电膜，而被保持于所述环载置面。根据本发明，能够维持隔着传热片的边缘环与基片支承台之间的热传导性的同时，提高传热片从基片支承台剥离的剥离性。
本发明授权边缘环及其更换方法、基片支承台和等离子体处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基片支承台，其特征在于，具有： 载置基片的基片载置面； 载置边缘环的环载置面，其中所述边缘环以包围被载置于所述基片载置面的基片的方式配置；和 用于将所述边缘环通过静电力来吸附并保持于所述环载置面的电极， 所述边缘环在与所述环载置面相对的面粘贴有传热片，且经由该传热片载置于所述环载置面， 所述传热片在粘贴于所述边缘环时，凝胶化而具有粘接性，利用其粘接性而粘贴于边缘环， 所述传热片在与所述环载置面相对的面形成有导电膜， 所述边缘环通过借助由所述电极形成的静电力来吸附被粘贴于该边缘环的所述传热片的所述导电膜，而被保持于所述环载置面。
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