东泰高科装备科技有限公司;奥塔装置公司邹金成获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉东泰高科装备科技有限公司;奥塔装置公司申请的专利一种晶片取片分离装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110739258B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201810806187.2,技术领域涉及:H10P72/70;该发明授权一种晶片取片分离装置及方法是由邹金成;魏民;申兵兵;库石特·索拉布吉;埃里克·桑福德;史蒂文·尤时达;拉杰·维尔卡;何甘;美利莎·艾契尔设计研发完成,并于2018-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片取片分离装置及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及太阳能电池制造设备技术领域,尤其涉及一种晶片取片分离装置及方法。其中,驱动组件与分离组件连接,分离组件上固定有吸附板,吸附板的一侧设有的可翻转的吸附手臂与吸附板能分别吸附在衬底的下表面和薄膜的上表面,以使晶片夹持在吸附板和吸附手臂之间,并在驱动组件的驱动作用下能同步移动,以将晶片自载具中取出;吸附手臂连接有运动控制器,驱动组件驱动吸附板接触并真空吸附在衬底的下表面时,运动控制器能驱动吸附手臂作竖向移动,以使吸附手臂接触并真空吸附薄膜,也能驱动吸附手臂作侧向翻转,以使吸附手臂带动薄膜与衬底分离,从而既能实现晶片的快速取用,又能实现衬底与薄膜的快速分离,极大的提高了产能。
本发明授权一种晶片取片分离装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种晶片取片分离装置,其特征在于,包括分离组件和驱动组件,晶片包括衬底和设在所述衬底上的薄膜,所述驱动组件与分离组件连接,所述分离组件上固定有吸附板,所述吸附板用于吸附固定所述衬底,所述吸附板的一侧设有可翻转的吸附手臂,所述吸附板和所述吸附手臂能分别吸附在所述衬底的下表面和所述薄膜的上表面,以使所述晶片夹持在所述吸附板和所述吸附手臂之间,在所述驱动组件的驱动作用下,所述吸附手臂和所述吸附板能同步移动,以将所述晶片自载具中取出; 所述吸附手臂连接有运动控制器,所述驱动组件驱动所述吸附板接触并真空吸附在所述衬底的下表面时,所述运动控制器能驱动所述吸附手臂作竖向移动,以使所述吸附手臂接触并真空吸附所述薄膜;所述运动控制器还能驱动所述吸附手臂作侧向翻转,以使所述吸附手臂带动所述薄膜与所述衬底分离; 所述运动控制器包括旋转机构和滑动控制机构,所述滑动控制机构通过所述旋转机构与所述吸附手臂连接,在所述滑动控制机构的驱动作用下,所述旋转机构和所述吸附手臂能同步的作竖向滑动,所述旋转机构能驱动所述吸附手臂作侧向翻转; 所述旋转机构包括皮带传动机构,所述皮带传动机构的主动轮通过旋转联轴器连接有伺服电机,所述皮带传动机构的任一从动轮通过转轴与所述吸附手臂连接;所述旋转联轴器和所述转轴分别与所述滑动控制机构连接; 所述吸附手臂包括中心轴和真空吸附片,所述旋转机构和真空吸附片分别连接在所述中心轴的两端,且所述中心轴与真空吸附片之间非同轴设置,在所述滑动控制机构的带动下,所述中心轴能带动所述真空吸附片竖向滑动、以及驱动所述真空吸附片围绕所述中心轴作侧向翻转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东泰高科装备科技有限公司;奥塔装置公司,其通讯地址为:102200 北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励