济宁卓镪机电科技有限公司朱国胜获国家专利权
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龙图腾网获悉济宁卓镪机电科技有限公司申请的专利一种碳化硅陶瓷载盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224124551U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-14发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521038820.X,技术领域涉及:H10P72/10;该实用新型一种碳化硅陶瓷载盘是由朱国胜;赵海标设计研发完成,并于2025-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅陶瓷载盘在说明书摘要公布了:本实用新型属于陶瓷载盘技术领域,具体涉及一种碳化硅陶瓷载盘,包括面盘,面盘的下侧设置有盘座,面盘的下侧等距环绕固定设置有插柱,盘座的上侧面对应插柱开设有插孔,插柱与插孔插接,面盘的上侧面均匀贯通设置有槽口,槽口的内侧均插接设置有单元槽体盘。本技术方案中,影响与晶圆贴合效果的只有单元槽体盘,盘座只起到承载单元槽体盘的作用,面盘起到限制单元槽体盘的作用,面盘和盘座即使发生翘曲的问题,但是只要不影响其对单元槽体盘的正常作用,即可继续使用,只有单元槽体盘出现翘曲时,会影响与晶圆贴合效果,只需要更换翘曲的单元槽体盘即可,单元槽体盘之间互不影响,无需整体更换,避免造成浪费。
本实用新型一种碳化硅陶瓷载盘在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅陶瓷载盘,其特征在于:包括面盘1,所述面盘1的下侧设置有盘座2,所述面盘1的下侧等距环绕固定设置有插柱102,所述盘座2的上侧面对应插柱102开设有插孔201,所述插柱102与插孔201插接,所述面盘1的上侧面均匀贯通设置有槽口101,所述槽口101的内侧均插接设置有单元槽体盘3,所述单元槽体盘3放置在盘座2的上侧,所述单元槽体盘3的上侧面均开设有定位槽301。
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